Passivation of Liquid‐Phase Crystallized Silicon With PECVD‐SiNx and PECVD‐SiNx/SiOx
Autor(es):N. Preissler, D. Amkreutz, J. Dulanto, J. A. Töfflinger, C. T. Trinh, M. Trahms, D. Abou‐Ras, H. Kirmse, R. Weingärtner, B. Rech and R. Schlatmann, Phys. Status Solidi A.
Año: 2018
Url: https://doi.org/10.1002/pssa.201800239