Emission pattern of an aluminium nitride target for radio frequency magnetron sputtering
J. Phys.: Conf. Ser. 274, 012116
Autor(es):G. Gálvez de la Puente, S. Zitzlsberger, J. A. Guerra Torres, O. Erlenbach, R. Weingärtner, F. De Zela, and A. Winnacker
Año: 2011